نمایش ها:0 نویسنده:ویرایشگر سایت زمان انتشار: 2021-07-06 اصل و نسب:سایت
پدهای پولیش را پوست های پولیش، پارچه های پولیش، پد پولیش نیز می نامند و از مواد کمکی مهمی هستند که کیفیت سطح را در پرداخت مکانیکی شیمیایی تعیین می کنند.
لنت های پولیش را می توان با توجه به اینکه حاوی مواد ساینده هستند به پدهای پولیش ساینده و لنت های پولیش غیر ساینده تقسیم کرد. با توجه به مواد مختلف، آنها را می توان به پدهای پولیش پلی اورتان، پدهای پولیش غیر بافته و پدهای پرداخت کامپوزیت تقسیم کرد. با توجه به ساختارهای مختلف سطح، آنها را می توان تقریبا به نوع مسطح، نوع شبکه و نوع خط مارپیچی تقسیم کرد.
لیست مطالب اینجاست:
l نقش پد پولیش در پردازش قطعه کار در دستگاه سنگ زنی سطحی چیست؟
l چند راه برای پولیش وجود دارد؟
l عوامل موثر بر یک پد پولیش
این پد پولیش مایع پولیش را به طور موثر و یکنواخت به مناطق مختلف پد پولیش منتقل می کند. پد پولیش به آرامی واکنش دهنده ها و زباله هایی را که پس از پرداخت به طور کامل واکنش شیمیایی داده اند تخلیه می کند تا به اثر حذف برسد.
فیلم مایع پولیش را روی سطح پد پولیش نگه دارید تا واکنش شیمیایی به طور کامل ادامه یابد. پد پولیش صافی فرآیند پرداخت را حفظ می کند و سطح تغییر شکل نمی دهد تا مورفولوژی سطح ویفر بهتری به دست آید.
بسیاری از فن‌آوری‌های مسطح‌سازی مواد سنتی مانند روش جریان گرما، روش اچ-بک، روش شیشه دوار، روش رزونانس الکترونی، CVD کم فشار، رسوب‌گذاری انتخابی، رسوب‌گذاری-اچ-رسوب، CVD تقویت‌شده با پلاسما و غیره وجود دارد. فرآیند planarization در توسعه استفاده شده است. از آنجایی که این فناوری‌ها متعلق به فناوری سطح‌بندی محلی مواد هستند، برای دستیابی به صفحه‌بندی جهانی، استفاده از پدهای پولیش برای فناوری پرداخت مکانیکی شیمیایی به تدریج شروع به توسعه کرده است.
پد پولیش یکی از مواد مصرفی مهمی است که میزان پولیش و قابلیت مسطح شدن را در فرآیند CMP تعیین می کند. برای ایفای نقش بهتر با مواد ساینده، پد پولیش معمولاً دارای خواص مکانیکی خاصی و ویژگی های جذب آب متخلخل است. سوراخ ها می توانند به انتقال مواد ساینده و بهبود یکنواختی پولیش کمک کنند.
سه نوع پایه پولیش وجود دارد: پد پولیش پلی اورتان، پد پولیش غیر بافته و پد پولیش ساختار کرکی.
سختی: سختی پد پولیش توانایی حفظ دقت سطح را تعیین می کند. نسبت تراکم: نسبت تراکم نشان دهنده توانایی ضد تغییر شکل پد پولیش است. حفاظت: حفاظت از پد پولیش کیفیت مایع پولیش ذخیره شده در واحد حجم پد پولیش است. زبری: ناهمواری سطح عبارت است از درجه ناهمواری روی سطح پد پولیش. چگالی: چگالی درجه فشردگی مواد پد پولیش است.
امروزه کارخانجات تولید لنت پولیش به خوبی توسعه یافته اند و طیف وسیعی از فروش دارند و به تدریج تمایل دارند مطابق با استانداردهای بین المللی باشند. بنابراین، تولید کنندگان مختلف پدهای پولیش متفاوتی را انتخاب می کنند. چه یک پد پولیش معمولی باشد و چه یک پد پولیش فوق العاده. پد پولیش تولید شده توسط Hubei Little Ant Diamond Tools Co., Ltd. بهترین انتخاب برای پد پولیش خشک است.
