نمایش ها:0 نویسنده:ویرایشگر سایت زمان انتشار: 2021-08-03 اصل و نسب:سایت
در حال حاضر، پرداخت مکانیکی شیمیایی به طور گسترده ای در پردازش سطحی بین لایه ای ویفرهای بستر و سیم کشی چند لایه استفاده می شود. پد پولیش بخش مهمی از سیستم پولیش مکانیکی شیمیایی (CMP) است. این کارکرد ذخیره سازی مایع پولیش و انتقال آن به کل منطقه پردازش قطعه کار را دارد. بنابراین نحوه استفاده از پد پولیش?
لیست مطالب اینجاست:
l ترکیب مواد پولیش چیست؟
l مکانیسم پد پولیش چیست؟
l چگونه از پد پولیش برای صیقل دادن سنگ مرمر استفاده کنیم؟
تجهیزات و مواد مصرفی مورد استفاده در فرآیند CMP عبارتند از: دستگاه پولیش، مایع پولیش، پد پولیش، تجهیزات تمیزکننده پس از CMP، تجهیزات تشخیص نقطه پایانی پولیش و تجهیزات کنترل فرآیند، تجهیزات تصفیه و تشخیص زباله و غیره که در این میان مواد CMP عمدتاً شامل پولیش است. مایعات، پدهای پولیش، رگولاتورها، پاک کننده های CMP و سایر مواد مصرفی، در حالی که مایعات پولیش و پدهای پولیش بیش از 80 درصد از بخش بازار مواد CMP را تشکیل می دهند. و مواد اصلی فرآیند CMP هستند.
عملکرد پد پولیش تحت تأثیر عواملی مانند خواص مواد، ساختار سطح، شکل شیار سطح و دمای کار قرار دارد. در میان این عوامل تأثیرگذار، شکل شیار سطح و اندازه پد پولیش یکی از پارامترهای کلیدی عملکرد پد پولیش است که مستقیماً بر توزیع و حرکت مایع پولیش در ناحیه پولیش تأثیر می گذارد و بر توزیع دما تأثیر می گذارد. از منطقه پولیش پد پولیش نیز نوعی ماده مصرفی است که باید به موقع تعویض شود. برای پد پولیش که برای مدت طولانی تعویض نمی شود، باقیمانده مواد خارج شده با پولیش به راحتی در آن باقی می ماند و باعث ایجاد خراش روی سطح قطعه کار می شود. در عین حال، اگر پد پولیش پس از پرداخت به موقع تمیز نشود، مواد جامد چسبیده به پد پولیش پس از خشک شدن در هوا، کیفیت پولیش بعدی را تحت تأثیر قرار می دهد.
پد پولیش برای حرکت تحت فشار روی سطح برای ایجاد فشار منفی به جسمی که قرار است صیقل شود متکی است به طوری که مایع پولیش که ابتدا در دهانه های سطحی که قرار است صیقل شود وجود دارد بین سطح جریان یابد.
سنگ مرمر نوعی سنگ دگرگونی است و سختی، طول عمر، رنگ و بافت آن می تواند بسیار متفاوت باشد. استفاده از پد پولیش الماس مرمری برای پرداخت مرطوب اولین انتخاب ایده آل برای پرداخت سنگ مرمر است.
(1) کاشی یا دال مرمری را روی میز کار قرار دهید و آن را محکم کنید تا مطمئن شوید که در حین سنگ زنی یا پرداخت حرکت نمی کند. اگر سنگ مرمر بسیار متخلخل است، توصیه می شود آن را با نوار ماسک بپوشانید.
(2) پد پشتی را به دستگاه پولیش مرطوب وصل کنید، مطمئن شوید که آن را قبل از نصب ببندید. اکنون می توانید فرآیند پرداخت را شروع کنید، کیت پولیش مرمر الماس را باز کنید و با پد پولیش 50 گریت شروع کنید. 50 دانه ماسه را روی نوار چسب صفحه پشتی بچسبانید و به آرامی دستگاه پولیش مرطوب را روشن کنید. دستگاه پولیش را با سرعت کم راه اندازی کنید و لبه های سنگ مرمر را پرداخت کنید و از چهار تا پنج بار تجاوز نکنید. با دانه های ساینده کمتر، تکرارهای بیش از حد می تواند بیش از حد لازم بدون افزایش ارزش سطح صیقلی، آسیاب شود.
(3) اطمینان حاصل کنید که هر قسمت سطح با شن جلا داده شده است و سپس به شن بالاتر بروید. هر ناحیه صیقلی نشده با سنگ ریزه کمتر باعث براقیت کمتر از حد مطلوب می شود. یک راه خوب برای اطمینان از صیقل بودن هر قسمت از لبه این است که سطح لبه را با یک حوله مرطوب کمی فشرده پاک کنید و آن را خشک کنید. گرما آب صیقلی را تبخیر می کند. اطمینان حاصل کنید که کل آب تبخیر شده است، سپس یک دور پولیش مرطوب را انجام دهید. پس از صیقل دادن تمام سطح، به شن بالاتر بعدی بروید.
(4) ادامه دهید و از کیت پرداخت سنگ مرمر الماس استفاده کنید تا این فرآیندها را از سنگ ریزه پایین به شن بالاتر تکرار کنید تا پایان مورد نظر به دست آید.
امروزه فناوری پد پولیش به خوبی توسعه یافته است. و محبوبیت لنت های پولیش بسیار بالاست و به تدریج به سمت یکسان سازی استانداردهای بین المللی گرایش پیدا می کند. اگر در تجارت پد پولیش هستید، Hubei Little Ant Diamond Tools Co., Ltd. یک انتخاب ایده آل است
